Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜

金属学报

1989, Vol. 25

Issue (3): 152-154

论文

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Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜

胡倾宇;赵航炜;闻立时;王永忠;乔桂文

中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所

PREPARATION OF LN_2 TEMPERATURE REGION SUPERCONDUCTOR FILM ON Si(100) SUBSTRATE

HU Qingyu;ZHAO Hangwei;WEN Lishi;WANG Yongzhong;QIAO Guiwen Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang

引用本文:

胡倾宇;赵航炜;闻立时;王永忠;乔桂文. Si(100)衬底上制备液氮温区超导薄膜[J]. 金属学报, 1989, 25(3): 152-154.
, , , , . PREPARATION OF LN_2 TEMPERATURE REGION SUPERCONDUCTOR FILM ON Si(100) SUBSTRATE[J]. Acta Metall Sin, 1989, 25(3): 152-154.

全文: PDF(245 KB)

摘要: 本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为78K。

关键词 ：超导, 薄膜, Si衬底

Abstract：We report the experimental results of the prepartion of YBaCuO superconductorthin film on Si (100) substrate by the method of ion beam sputtering deposition. A ZrO_2 buf-fer layer was applied to Si (100) substrate, and was found to play an important role in resist-ing the diffusion of Si toward the film. The thin film is mainly a 123 phase with strong c-axispreferred orentation. The onset transition temperature of the film is 100 K and the finaltransition temperature 78 K.

Key words： superconductor YBaCuO thin film Si substrate

收稿日期: 1989-03-18

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1 郑家琪,中国真空学会第3届年会学术论文集,沈阳,1988;122
2 Mogro-Campero, A, Hunt B D, Turner L G, Burrell M C, Balz W E. High Temperature Superconductor Ⅱ. Extended Abstracts, Materials Research Society of America, 1988: 113
3 胡倾宇,闻立时,赵航炜,乔桂文,钱声伟,于宝海,杨巧勤,庄育智.材料科学进展,1989;3:233
4 胡倾宇,钱声伟,闻立时,于宝海,赵航炜,杨巧勤,关侃,傅立顺.低温物理学报,1987;9(3) :19

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