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金属学报  2001, Vol. 37 Issue (12): 1281-1284     
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衬底类型对粘贴芯片表面残余应力的影响
孙志国  黄卫东  罗乐
中国科学院上海冶金研究所;上海200051
引用本文:

孙志国; 黄卫东; 罗乐 . 衬底类型对粘贴芯片表面残余应力的影响[J]. 金属学报, 2001, 37(12): 1281-1284 .

全文: PDF(144 KB)  
摘要: 封装所导致的残余应力是电子器件封装和组装重点关注的问题.本工作利用硅压阻传感器,实时原位地记录了在不同基板材料(FR4和Al2O3陶瓷)上粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况.研究表明,在不同基板材料上固化时,应力演化过程不同;Al2O3陶瓷基板上芯片的残余应力明显低于FR4基板.
关键词 芯片粘贴硅压阻应力传感器    
Key words
收稿日期: 2001-04-13     
ZTFLH:  TG407  
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