金属学报  2005, Vol. 41 Issue (2): 123-127

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

Cu--W薄膜表面形貌各向异性与相结构

汪 渊 陈元华 徐可为 马栋林 范多旺

汪渊; 陈元华; 徐可为; 马栋林; 范多旺 . Cu--W薄膜表面形貌各向异性与相结构[J]. 金属学报, 2005, 41(2): 123-127 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(296 KB)   摘要: 提出了一种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法, 并据此研究了磁控溅射Cu--W薄膜表面结构特征随退火温度的演变. 结果表明, 薄膜表面 聚合过程有两个不同阶段: 孔洞处形核和颗粒生长; 薄膜表面形貌分形维数可很好地描 述表面粗化程度. 研究发现, 表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感. 指出这种结 合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法, 可以较灵敏地探测到Cu--W薄膜 表面结构各向异性变化. 关键词 ： Cu-W薄膜,  表面各向异性,  相结构     Key words： 收稿日期: 2004-03-04      ZTFLH:  TG146   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 汪渊 陈元华 徐可为 马栋林 范多旺 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2005/V41/I2/123 [1] McRae G A, Maguire M A, Jeffrey C A, Guzonas D A,Brown C A. Appl Surf Sci, 2002; 191: 94 [2] Ming Q Z, Zai P L, Klaus F. Tribology Int, 1997; 30: 87 [3] Jong C A, Chin T S. Mater Chem Phys, 2002; 74: 2019 [4] Vladimir I. Trofimov, Thin Solid Films, 2003; 428: 56 [5] Tersio G, Souza C, Kleinke M U, Gorenstein A. Appl PhysLett, 2002; 81(26): 4922 [6] Erlebacher J, Aziz M J, Chason E, Sinclair M B, Floro JA. Phys Rev Lett, 1999; 82: 2330 [7] Barabasi A L, Stanly H E. Fractal Concepts in SurfaceGrowth. Cambridge: Cambridge University Press, 1995 [8] Leamy H J, Dirks A G. J Appl Phys, 1978; 49: 3430 [9] Engelhardt M A, Jaswal S S, Sellmyer D J. Phys Rev B,1991; 44(23): 12671 [10] Lokenath Debnath. Wavelet Transforms and Their Applications. New York: Birkhauser Boston, 2002 [11] Raja J, Muralikrishnan B, Fu S Y. Precis Eng, 2002; 26:222 [12] Stephane G. Mallat. IEEE Transactions on Pattern Analysis and Machine Intelligence, 1989; 11(7): 674 [13] Wang Y, Xu K W. Acta Phys Sin, 2004; 53(3): 900(汪渊,徐可为.物理学报,2004;53(3):900) [14] Grzeta B, Radic N, Gracin D, Doslic T, Car T. J Non-Cryst Solids, 1994; 170: 101 [15] Dirks A G, van den Broek J J. J Vac Sci Technol A, 1985;3(6): 2618 [16] Lu W, Komvopoulos K. Appl Phys Lett, 2000; 76: 3206 [17] Nastasi M, Saris F W, Hung L S, Mayer J W. J Appl Phys,1995; 58(8): 3052 [18] Ozakan Cengiz S, Nix William D, Gao H J. J Mater Res,1999; 14(8): 3247 [19] Zinke-Allmang M. Thin Solid Films, 1999; 346: 1 [1] 袁江淮, 王振玉, 马冠水, 周广学, 程晓英, 汪爱英. Cr2AlC涂层相结构演变对力学性能的影响[J]. 金属学报, 2023, 59(7): 961-968. [2] 吴臣亮,张松,张春华,关锰,谭俊哲. 不锈钢表面FeCoCrAlCuNiMox激光高熵合金化层的相演变*[J]. 金属学报, 2016, 52(7): 797-803. [3] 张志强 董利民 杨洋 关少轩 刘羽寅 杨锐. 淬火温度对TC16钛合金显微组织及变形行为的影响[J]. 金属学报, 2011, 47(10): 1257-1262. [4] 高芳; 蒋成保; 刘敬华; 徐惠彬 . 第三组元添加对Fe--Ga合金相组成和磁致伸缩性能的影响[J]. 金属学报, 2007, 43(7): 683-687 . [5] 邓金侠; 邢献然; 于然波; 陈骏; 邢奇凤; 罗君 ; 刘桂荣 . 先驱体合成法制备PMN-PT弛豫铁电体及其表征[J]. 金属学报, 2005, 41(5): 503-506 . [6] 徐翔; 蒋成保; 徐惠彬 . Fe72.5Ga27.5合金的相结构和磁致伸缩性能[J]. 金属学报, 2005, 41(5): 483-486 . [7] 刘艳; 彭志方 . 多相合金组成相结构体积分数及相含量之间关系的测算[J]. 金属学报, 2003, 39(1): 22-26 . [8] 朱光明; 雷永泉; 陈立新; 王启东 . Ti对Ml(NiCoMnTi)5合金相结构和充放电循环性能的影响[J]. 金属学报, 2001, 37(9): 935-942 . [9] 朱云峰; 潘洪革; 马建新; 李寿权; 葛红卫; 应窕 ; 王启东 . Cr部分替代Mn对Ti-Zr-V-Mn-Ni贮氢合金相结构、显微组织及电化学性能的影响[J]. 金属学报, 2001, 37(10): 1018-1022 . [10] 任可; 雷永泉 . Zr替代稀土对RE（NiCoMnTi）5贮氢合金相结构和性能的影响[J]. 金属学报, 2000, 36(8): 854-858 . [11] 代明江; 匡同春 . 金刚石膜剥落后硬质合金基体的表面形态[J]. 金属学报, 2000, 36(7): 780-784 . [12] 阎牧夫 . La在脉冲离子渗氮表层中的扩散及其对氮分布和相结构的影响[J]. 金属学报, 2000, 36(5): 487-491 . [13] 任可; 雷永泉 . M1（Ni4.55—xCoxMn0.4Ti0.05）合金的相结构与电化学性能[J]. 金属学报, 2000, 36(4): 364-369 . [14] 李志林; 刘志林; 孙振国 . 合金相结合因子和界面结合因子的计算方法及其在合金设计中的应用[J]. 金属学报, 1999, 35(7): 673-681 . [15] 吕光烈; 舒康颖; 胡秀荣; 顾建明; 宋雪雁; 雷永泉; 王启东 . 快凝合金Zr（Ni0.55Mn0.3V0.1Cr0.05）2.1的相结构与储氢性能[J]. 金属学报, 1999, 35(5): 453-457 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed