金属学报  1998, Vol. 34 Issue (4): 406-411

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低温热处理CoN/CN软X射线多层膜的界面互扩散研究

白海力;姜恩永

天津大学应用物理学系;天津;300072;天津大学应用物理学系;天津;300072

INTERDIFFUSION IN LOW TEMPERATURE ANNEALED CoN/CN SOFT X-RAY MULTILAYER MIRRORS

BAI Haili; JIANG Enyong (Department of Applied Physics; Tianjin University; Tianjin 300072)

白海力;姜恩永. 低温热处理CoN/CN软X射线多层膜的界面互扩散研究[J]. 金属学报, 1998, 34(4): 406-411.
, . INTERDIFFUSION IN LOW TEMPERATURE ANNEALED CoN/CN SOFT X-RAY MULTILAYER MIRRORS[J]. Acta Metall Sin, 1998, 34(4): 406-411.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(492 KB)   摘要: 在473—523K的低温退火条件下，通过对CoN／CN软X射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为，并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较，发现N掺杂使CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Co／C多层膜，并具有如下特点：（1）有效扩散系数和宏观扩散系数较小；（2）扩散激活能较大；（3）临界波长相等Co—N，C—N之间存在的强化学键以及N原子的填隙，减小了结构弛豫和界面扩散这表明通过N掺杂有希望改善Co／C软X射线多层膜的结构热稳定性. 关键词 ： 软X射线多层膜,  掺杂,  有效扩散系数,  临界波长     Abstract：The interdiffusion in the amorphous CoN/CN soft X-ray multilayer is investigated quantitatively by monitoring the enhancement of the first order modulation peak onannealing in the temperature range of 473-523 K. The effective interdiffusion coefficient measured is as low as 10-25m2s-1. The comparison with the results of Co/C system indicates that the following three features are noticeable: (1) the critical wavelengths of interdiffusion obtained are 2.00-2.04 nm at temperatures ranging from 473 to 523 K and equal to those of Co/C multilayers within the experimental error, indicating that the interdiffosion behaviour in the CoN/CNmultilayers still depends on the thermodynamic properties of the Co--C system, (2) the effectiveinterdffesivities and macroscopic diffusion coefficiellts are lower, and (3) the activation energy ofdiction is higher. The results imply that it is possible to improve the thermal stability of Co/Cmultilayer by doping with nitrogen. Key words： soft X-ray    multilayer    interdiffusivity    doping 收稿日期: 1998-04-18      基金资助:国家自然科学基金!59672O24;;国家教委博士点基金!D096006;;北京中关村地区联合分析测试中心资助项目 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 白海力 姜恩永 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1998/V34/I4/406 1 Bai H L, Jiang E Y, Wang C D. Thin Solid Filme, 1996; 286: 176 2 Greer A L, Spapan F. In: Chang L L, Giessen B C eds., Synthetic Modulation Structures. New York: Academic Press, 1985: 424 3 Jiang Xiaoming, Xian Dingchang, Wu Ziqin. Appl Phys Lett, 1990; 57: 2549 4 Sasanuma Y, Uchida M, Okada K, Yamamoto K, Kitano Y, Ishitani A. Thin Solid Films, 1991; 203: 113 5 Sasanuma Y, Nakayama K. Thin Solid Filme, 1994; 247: 24 6 Johansson B, Martensson N. Phys Rev, 1980; 21B: 4427 7 Steiner P, Hufner S, Martensson N, Johansson B. Solid State Commun, 1981; 37: 73 8 Miedema A R, de Chatel P F, de Boer F R. Physica, 1980; 100B: 1 9 Miedema A R. J Less-Common Met, 1976; 46: 67 10 Niessen A K, Miedema A R, de Beer F R, Boom R. Physica, 1988; 151B: 401+ [1] 王福容, 张永梅, 柏国宁, 郭庆伟, 赵宇宏. Al掺杂Mg/Mg2Sn合金界面的第一性原理计算[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 812-820. [2] 毛斐, 吕皓, 唐法威, 郭凯, 刘东, 宋晓艳. Mn和In添加对SmCo7结构稳定性及磁矩影响的第一性原理计算[J]. 金属学报, 2021, 57(7): 948-958. [3] 杨莎莎,杨峰,陈明辉,牛云松,朱圣龙,王福会. N掺杂对磁控溅射Ta涂层微观结构与耐磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(3): 308-316. [4] 张世政,徐要辉,汪庭语,李锐星,才鸿年. In3+掺杂CeO2的固溶度及其储氧能力*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 607-613. [5] 单麟婷, 巴德纯, 曹青, 侯雪艳, 李建昌. Ce-Cu共掺杂对SnO2薄膜光电特性的影响*[J]. 金属学报, 2014, 50(1): 95-102. [6] 李泓霖，张仲，吕英波，黄金昭，刘如喜. Eu掺杂ZnO结构光电性质的第一性原理及实验研究[J]. 金属学报, 2013, 29(4): 506-512. [7] 周立颖，王福合. 点缺陷对γ－TiAl (100)表面O原子吸附和扩散影响的第一性原理研究[J]. 金属学报, 2013, 49(11): 1387-1391. [8] 厉英,丁玉石,崔绍刚,王常珍. 掺杂Sc的CaZrO3的制备及电学性能[J]. 金属学报, 2012, 48(5): 575-578. [9] 范永中 张淑娟 涂金伟 孙霞 刘芳 李明升. Si和Y掺杂对(Ti, Al)N涂层结构和性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(1): 99-106. [10] 厉英 马北越 王臻明 姜茂发. Na1.4Co2O4基热电材料的溶胶-凝胶法制备及表征[J]. 金属学报, 2011, 47(1): 109-114. [11] 向鑫 陈长安 刘柯钊 罗丽珠 刘婷婷 王小英. C掺杂对Al中He行为的影响[J]. 金属学报, 2010, 46(3): 318-323. [12] 杨义勇 彭志坚 付志强 邬苏东 陈新春 王成彪. 多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究[J]. 金属学报, 2010, 46(1): 34-40. [13] 张静玉 刘庆峰 刘茜. Ti对Zn-Al合金薄膜耐腐蚀性能的影响[J]. 金属学报, 2009, 45(10): 1166-1170. [14] 王东; 史苍际; 刘春明; 王常珍 . CaZr0.9In0.1O3高温质子导体管的制备及性质表征[J]. 金属学报, 2008, 44(2): 177-182 . [15] 张霞; 孟皓; 孙挺 . Fe3+/TiO2复合纳米粒子的制备及可见光响应性能[J]. 金属学报, 2008, 44(11): 1394-1398 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed