金属学报  2002, Vol. 38 Issue (5): 449-452

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究

唐武　 徐可为　 王平　 李弦

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;西安710049

唐武; 徐可为; 王平; 李弦 . Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究[J]. 金属学报, 2002, 38(5): 449-452 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(144 KB)   摘要: 采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度. 关键词 ： Au/NiCr/Ta多层膜,  表面粗糙度,  纳米压入     Key words： 收稿日期: 2001-07-09      ZTFLH:  TB302   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐武 徐可为 王平 李弦 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I5/449 [1]Bartelt M C, Evans J W. Phys Rev Lett, 1995; 75: 4250 [2]Luijten E, Van Beijeren H, Blote H W J. Phys Rev Lett,1994; 73: 456 [3]Den N M. Phys Rev Lett, 1990; 64: 435 [4]Meakin P, Ramanlal P, Ball R C. Phys Rev, 1986; A34:5091 [5]Family F, Vicsek T. J Phys, 1985; A18:175 [6]Lacquaniti V, Monticone E, Picotto G B. J Microelectron,1997; 28: 875 [7]Randall N X, Schmutz C J, Hollander E. Surf Coat Tech-nol, 1998: 99:111 [8]Armstrong R W, Shin H, Ruff A W. Acta Metall Mater,1995;43:1037 [9]Tsang C F, Jasmine W. Mater Charact, 2000; 45: 187 [10]Hou J G, Wang Y, Xu W T. Appl Phys Lett, 1997; 70:3110 [11]Oliver W C, Pharr G M. J Mater Res, 1992; 7:1564 [12]Amar G J. Phys Rev Lett, 1990; 64: 543 [13]Ranjana S, Xue Z Y, Huang Y, Nix W D. J Mech PhysSolids, 2001; 49: 1997 [1] 宋文硕, 宋竹满, 罗雪梅, 张广平, 张滨. 粗糙表面高强铝合金导线疲劳寿命预测[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 1035-1043. [2] 郭军力, 文光华, 符姣姣, 唐萍, 侯自兵, 谷少鹏. 冷却速率对包晶钢凝固过程中包晶转变收缩的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(10): 1311-1318. [3] 张亚娟, 王海滨, 宋晓艳, 聂祚仁. SLM球形Ni粉的制备与打印工艺性能[J]. 金属学报, 2018, 54(12): 1833-1842. [4] 朱莉娜,邓彩艳,王东坡,胡绳荪. 表面粗糙度对Ti-6Al-4V合金超高周疲劳性能的影响*[J]. 金属学报, 2016, 52(5): 583-591. [5] 王彬,熊良银,刘实. 射频反应溅射制备MgO二次电子发射薄膜*[J]. 金属学报, 2016, 52(1): 10-16. [6] 张茹,沈汉杰,张雅琴,李栋梁,李彦嘉,雍兴跃. 不锈钢表层对空化与电化学腐蚀交互作用的纳米力学响应[J]. 金属学报, 2013, 49(5): 614-620. [7] 郭振丹; 王秀芳; 杨晓萍; 蒋冬梅; 马学鸣; 宋洪伟 . 多晶Cu中Young's模量和硬度与晶体取向的关系[J]. 金属学报, 2008, 44(8): 901-904 . [8] 吴振强; 夏原; 李光; 徐方涛; 银光耀 . 热浸铝钢等离子体电解氧化陶瓷层的微观力学特性[J]. 金属学报, 2008, 44(1): 119-124 . [9] 杨振国; 张继明; 李守新; 李广义; 王清远; 惠卫军; 翁宇庆 . 高周疲劳条件下高强钢临界夹杂物尺寸估算[J]. 金属学报, 2005, 41(11): 1136-1142 . [10] 王飞; 徐可为 . 加载速率对Al膜纳米压入蠕变性能的影响[J]. 金属学报, 2004, 40(11): 1138-1142 . [11] 王飞; 徐可为 . 晶粒尺寸与保载载荷对Cu膜纳米压入蠕变性能的影响[J]. 金属学报, 2004, 40(10): 1032-1036 . [12] 黄立业; 徐可为; 吕坚 . 类金刚石碳膜的纳米划擦行为及其加载-卸载效应[J]. 金属学报, 2001, 37(12): 1247-1250 . [13] 马德军; Jian L.U; 徐可为; 何家文 . 利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅱ.实验及验证[J]. 金属学报, 1999, 35(10): 1049-1052 . [14] 马德军; Jian.L.U; 徐可为; 何家文 . 利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅰ.数值和模拟[J]. 金属学报, 1999, 35(10): 1043-1048 . [15] 马德军;徐可为;何家文. 测定金属薄膜屈服强度的纳米压入法研究[J]. 金属学报, 1998, 34(6): 661-666. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed