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金属学报  1990, Vol. 26 Issue (1): 135-140    
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高频等离子法制取超细氮化钛反应动力学研究
朱联锡;邹四维
成都科技大学环境科学及工程系;副教授成都(610065);成都科技大学
KINETICS OF PREPARATION OF ULTRAFINE TiN POWDER BY HIGH FREQUENCY PLASMA
ZHU Lianxi;ZOU Siwei Chengdu University of Science and Technology Department of Environmental Science and Engineering;Chengdu University of Science and Technology;Chengdu 610065
引用本文:

朱联锡;邹四维. 高频等离子法制取超细氮化钛反应动力学研究[J]. 金属学报, 1990, 26(1): 135-140.
, . KINETICS OF PREPARATION OF ULTRAFINE TiN POWDER BY HIGH FREQUENCY PLASMA[J]. Acta Metall Sin, 1990, 26(1): 135-140.

全文: PDF(466 KB)  
摘要: 本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了TiCl_4-NH_3-H_2-N_2系统在高频等离子反应器中气相合成超细TiN粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,为控制TiN产品的质量及对等离子反应器的优化设计提供了理论依据。
关键词 等离子氮化钛反应动力学    
Abstract:The reaction kinetics model for the synthesis of ultrafine TiN pow-der from vapour phase system TiCl_4-NH_3-H_2-N_2 in the high frequency plasma reac-tor was proposed as follows: (-r_A)=-1/v(dn_(TiCl_4)/dt)=0.852e~(-63.2/RT)P_(TiCl_4)The majority of factors influenced upon the reaction be were analysed, so as toprovide the theoretical basis for improving quality of TiN powder and for opti-mizing the design of plasma reactor.
Key wordsTiN    plasma    kinetics
收稿日期: 1990-01-18     
基金资助:国家自然科学基金
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