金属学报  1999, Vol. 35 Issue (6): 648-653

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HFCVD生长金刚石薄膜中气体状态参数空间场模拟计算

宋贵宏 孙超　黄荣芳 闻立时

中国科学院金属研究所;沈阳 110015

宋贵宏; 孙超; 黄荣芳; 闻立时 . HFCVD生长金刚石薄膜中气体状态参数空间场模拟计算[J]. 金属学报, 1999, 35(6): 648-653 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(358 KB)   摘要: 本文对ＨＦＣＶＤ过程中的气体状态参数空间场进行了模拟计算, 结果表明, 气体的温度, 体密度, 速度和质量流密度场是空间位置的函数, 在合适的位置, 可获得均匀的温度和质量流密度, 这些结果可为制备大面积均匀金刚石薄膜时工艺参数选择提供理论依据. 关键词 ： 金刚石薄膜,  均匀生长,  空间场,  模拟计算     Key words： 收稿日期: 1999-03-04      ZTFLH:  O484   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 宋贵宏 孙超 黄荣芳 闻立时 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y1999/V35/I6/648 [1]Kondoh E, Ohta Y, Mitomo T, Ohtsuka K.J Appl Phys,1992; 72:705 [2]Matsui Y,Yabe H,Hirose Y.Diamond Related Mater,1993;2:7 [3]Gicquel A,Hassouni K,Farhat S,Breton Y,Scott C D, Lefebvre M,Pealat M.Diamond Helated Mater, 1994; 3:581 [4]Dandy D S, Coltrin M E. JMater Res, 1995; 10: 1993 [5]Shen M R, Wang H, Ning Z Y, Ye C, Ren Z X.J Phys Condensed Mater, 1996; 8: 8953 [6]Wolden C,Mitra C,Gleason K K.J Appl Phys,1992;72:3750 [7]Kong X Q.The Applications of the Finite Element in Heat Transfer.3rd ed.,Beijing: Science Press,1998:480 (孔祥谦.有孔限元法在传热学中的应用(第三版).北京:科学出版社,1998;480) [8]zhang B z. The Infinite Element Methods in Fluid Dynam ics,Beijing:Mechanical Industry Press,1986:281(章本照,流体力学中的有限元方法.北京:机械工业出版社,1986:281) [9]Schaefer L,Sattler M,Klages C P. In:Tzeng Y,Yoshikawa M,Murakwa M.Feldman A eds.,Proc 1st Int Conf on the Applications of Diamond Films and Related Materials,New York: Auburn, AL, 1991: 453 [10]Yu J, Huang R F, Wen L S, Shi C X. Mater Lett, 1997; 32:143d [1] 邓聪坤,江鸿翔,赵九洲,何杰,赵雷. Ag-Ni偏晶合金凝固过程研究[J]. 金属学报, 2020, 56(2): 212-220. [2] 石宇野,焦少阳,董建新,张麦仓. 镍基高温合金γ'相析出的经典动态模型及应用[J]. 金属学报, 2012, 48(6): 661-670. [3] 吴忠振 田修波 程思达 巩春志 杨士勤. 高结晶度CrN纳米粒子掺杂的DLC薄膜的显微结构及力学性能[J]. 金属学报, 2012, 48(3): 283-288. [4] 朱维 韩志强 柳百成. 挤压铸造凝固过程热--力耦合模拟 II. 模拟计算及实验验证[J]. 金属学报, 2009, 45(3): 363-368. [5] 聂朝胤; 张碧云; 谢红梅 . 非平衡磁控溅射Ti添加类金刚石薄膜的结构分析[J]. 金属学报, 2007, 43(11): 1207-1210 . [6] 李建国; 胡东平; 梅军; 刘实; 李依依 . 金刚石薄膜与WC--Co硬质合金结合力的改善[J]. 金属学报, 2006, 42(7): 763-769 . [7] 李建国; 刘实; 李依依; 胡东平; 季锡林; 梅军 ; 周德惠 . 热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析[J]. 金属学报, 2005, 41(4): 437-443 . [8] 黄立业; 徐可为; 吕坚 . 类金刚石碳膜的纳米划擦行为及其加载-卸载效应[J]. 金属学报, 2001, 37(12): 1247-1250 . [9] 匡同春;刘正义;周克崧;王德政;代明江. CVD金刚石薄膜及膜-基界面形态[J]. 金属学报, 1998, 34(3): 305-312. [10] 霍晓;任家烈;鹿安理. 导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理[J]. 金属学报, 1997, 33(6): 650-654. [11] 李成明;王建明;徐重;吕反修;王建军. 准分子激光预处理对硬质合金表面沉积金刚石薄膜结合强度的影响[J]. 金属学报, 1996, 32(9): 966-970. [12] 朱宏;柳襄怀;任琮欣;陈国梁;邹世昌. 单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究[J]. 金属学报, 1995, 31(15): 139-144. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed