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金属学报  1994, Vol. 30 Issue (15): 140-144    
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1Cr18Ni9Ti不锈钢氮离子注入层超显微硬度的研究
杨安静;蔡亦炜;陈秋龙
上海交通大学
ULTRA-MICROHARDNESS OF N~+ IMPLANTED LAYER ON 1Cr18Ni9TiSTAINLESS STEEL
YANG Anjing;CAI Yiwei;CHEN Qiulong(Shanghai Jiaotong University)
引用本文:

杨安静;蔡亦炜;陈秋龙. 1Cr18Ni9Ti不锈钢氮离子注入层超显微硬度的研究[J]. 金属学报, 1994, 30(15): 140-144.
, , . ULTRA-MICROHARDNESS OF N~+ IMPLANTED LAYER ON 1Cr18Ni9TiSTAINLESS STEEL[J]. Acta Metall Sin, 1994, 30(15): 140-144.

全文: PDF(318 KB)  
摘要: 应用超显微硬度计测定1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度,并用Auger电子能谱仪(AES)及高精度轮廓仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度.结果表明:在90keV,3x10~17N+/cm~2注入时.共注入层深度为0.18μm、用1mN载荷侧得本征硬度HV为3.47GPa,比非注入态表面硬度提高三倍之多,合理的试验载荷应≤lmN(0.1g).
关键词 lCr18Ni9Ti离子注入超显微硬度    
Abstract:An ultra-microhardness tester typed UMHT-3 was used to measure the characteristic hardness of N+ implanted layer on 1Cr18Ni9Ti stainless steel.Depth and nitrogen concentration profile of the N+ implanted layer were determined by means of AES in combination with high precision profilometer. The depth of N+ implanted layer in 1Cr18Ni9Ti steel is 0.18μm at 90 keV and 3x10~17 N+/cm2. Its characteristic hardness,HV 3.47 GPa under load of l mN, shows that N+ implantation can increase the surface hardness by more than 3 times. The appropriate testing load selected should be equal or less than l mN.
Key words1Cr18Ni9Ti    ion implantation    ultra-microhardness
    
基金资助:中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助
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