金属学报  1994, Vol. 30 Issue (19): 323-326

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离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性

刘捍卫;陈元儒;张绪寿

西南交通大学;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室

TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF TiN FILM BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION

LIU Hanwei;CHEN Yuanru (Southwest Jiaotong University; Chengdu)ZHANG Xushou (Laboratory of Solid Lubrication; Lanzhou institute of Chemical Physics;Chinese Academy of Sciences; Lanzhou)

刘捍卫;陈元儒;张绪寿. 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性[J]. 金属学报, 1994, 30(19): 323-326.
, , . TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF TiN FILM BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION[J]. Acta Metall Sin, 1994, 30(19): 323-326.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(300 KB)   摘要: 用ＸＰＳ，ＡＥＳ和ＸＲＤ分析厚约２μｍ离子束辅助沉积ＴｉＮ膜的成分和结构．实验表明：膜的表面成分主要是ＴｉＯ_２，膜内是轻微择优取向晶粒较细的ＴｉＮ．膜与衬底的界面存在混合区，用阶梯加载法测定润滑条件下ＧＣｒ１５钢与ＴｉＮ膜对磨时的临界载荷－速度关系．试验发现ＴｉＮ膜可显著扩大边界润滑区，承受较大载荷而不致发生擦伤． 关键词 ： 离子束辅助沉积,  ＴｉＮ膜,  滑动摩擦     Abstract：XPS, AES and XRD show that the main composition of TiN film prepared by ion beam assisted deposition is TiN with fine grain size and slightly preferential orientation,except predominent TiO_2 on surface of film and a wide mixed region of Ti, Fe, N at interface between film and substrate. The tribological behaviour of the TiN film was tested on a ball/disc frictional device under stepwise loading and lubricating sliding. From P-v diagram, the enlargement of boundary lubrication region has been found. It seems that the existence of TiN film increases the load carrying capacity of substrate of Cr12MoV steel. Key words： ion beam assisted deposition    TiN film    sliding friction      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 刘捍卫 陈元儒 张绪寿 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1994/V30/I19/323 1KantRA,SartwellBD．MaterSciEng,1987;90:3572ItoH,YoshidaY,YamajS,MaeyamaY,InaT,MinowaY．NuclInstrtumMethodsPhysRes,1989;B39:1743SmidtFA．IntMaterRev,1990;35:614LiuXianghua,XueBin,ZhengZhihong,ZhouZuyao,ZouShichang．NuclInstrumMethPhysRes,1989;B39:1855刘捍卫．西南交通大学硕士学位论文,1992 [1] 杨继兰, 蒋元凯, 顾剑锋, 郭正洪, 陈海龑. 奥氏体化温度对中碳淬火-配分钢干滑动摩擦磨损性能的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(1): 21-30. [2] 覃明; 嵇宁 . TiN 附着膜的应力-应变关系[J]. 金属学报, 2003, 39(7): 721-724 . [3] 谢飞; 何家文 . 高速钢W18Cr4V离子渗氮层组织对TiN膜与基体结合强度的影响[J]. 金属学报, 2000, 36(10): 1099-1103 . [4] 董祥林; 简小刚; 毕红运; 陈金荣 . 磁场对中碳钢滑动摩擦磨损的影响[J]. 金属学报, 1999, 35(6): 577-580 . [5] 于力;刘技文;赵杰;戴少侠;金柱京;王慧君. 基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J]. 金属学报, 1996, 32(12): 1270-1274. [6] 朱宏;柳襄怀;任琮欣;陈国梁;邹世昌. 单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究[J]. 金属学报, 1995, 31(15): 139-144. [7] 江海;武庆兰;陶琨;李恒德. 离子束辅助沉积Fe-N薄膜的相形成[J]. 金属学报, 1994, 30(18): 273-276. [8] 江海;陶琨;李恒德. 离子束辅助沉积合成B—N薄膜的分析[J]. 金属学报, 1993, 29(4): 77-80. [9] 赵程;彭红瑞;李世直. 等离子体化学气相沉积Ti-N-C膜的研究[J]. 金属学报, 1993, 29(1): 87-92. [10] 李世直;徐翔. 等离子体化学气相沉积TiN膜的研究[J]. 金属学报, 1988, 24(3): 229-235. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed