金属学报  2003, Vol. 39 Issue (2): 204-208

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纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究

李丹; 顾有松; 常香荣; 李福燊; 乔利杰; 田中卓; 方光旦; 宋庆山

北京科技大学材料物理系; 北京 100083

The Structure, Properties and Thermal Stability of the Nanocrystalline Fe-Ti-N Soft Magnetic Films

LI Dan; GU Yousong; CHANG Xiangrong; LI Fushen; QIAO Lijie; TIAN Zhongzhuo; FANG Guangdan; SONG Qingshan

Department of Materials Physics; University of Science & Technology Beijing; Beijing 100083

李丹; 顾有松; 常香荣; 李福燊; 乔利杰; 田中卓; 方光旦; 宋庆山 . 纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究[J]. 金属学报, 2003, 39(2): 204-208 .
, , , , , , , . The Structure, Properties and Thermal Stability of the Nanocrystalline Fe-Ti-N Soft Magnetic Films[J]. Acta Metall Sin, 2003, 39(2): 204-208 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(197 KB)   摘要: 在高溅射功率900W下用 RF磁控油射方法制备了厚为 630-780 nm的Fe-Ti-N 薄膜.结果表明: 当膜成分(原子分数, %, 下同)在Fe-3.9Ti-8.8N和Fe-3.3Ti-13.5N范围内, 薄膜由α’和 Ti2N沉淀组成, 磁化强度 4\piMs超过纯铁, 最高可达2.38 T; 而矫顽力Hc下降为 89 A/m1,了可以满足针对1.55 Gb/cm2高存储密度的GMR/ 感应式复合读写磁头中写入磁头的需要. N原子进入α-Fe使α’具有高饱和磁化强度; Ti的加入, 阻止α’ →α+γ’的分解, 稳定了强铁磁性相α’, 是Fe-Ti-N具有高饱和磁化强度的原因. 由于由晶粒度引起的对Hc的影响程度 HcD与晶粒度D有以下关系: HcD∝D6, 晶粒度控制非常重要. N原子进入α-Fe点阵的八面体间隙, 引起极大的畸变, 使晶粒碎化. 提高溅射功率也使晶粒度下降.成本两者共同作用, 能使晶粒度下降到约14 nm, 使Hc下降. 晶界是择优沉淀地点, 在α’晶界上沉淀 Ti2N能起钉扎作用, 阻止晶界迁移, 使纳米晶α’不能长大. 薄膜的结构和Hc的稳定温度不低于520℃. 关键词 ： Fe-Ti-N纳米软磁薄膜,  磁场热处理     Key words： 收稿日期: 2002-04-22      ZTFLH:  TG113.22   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 李丹 顾有松 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I2/204 [1] Kim T K, Takahashi M. Appl Phys Lett, 1972; 20: 492 [2] Komuro M, Kozono Y, Hanazono M, Sugita Y. J ApplPhys, 1990; 67: 5126 [3] Sugita. Y, Lakaha,shi H, Komuro M, Mitsuoka K, SakumaA. J Appl Phys, 1994; 76: 6687 [4] Sugita. Y, Takahashi 14, Komuro M. Igarashi M, Inmra H, Kambe T. Appl Phys, 1996; 79: 5576 [5] Cadogan ,T M, Aus1 J. Phys, 1997; 50: 1093 [6] Metzger R M, Bao X H, Carbuciccchio M. J Appl Phys,1994; 76: 6626 [7] Coey J M D. J Appl Phys, 1994; 76: 6632 [8] Ishida S, Kitawatase K. J Magn Magn Mater, 1992; 104-107: 1933 [9] Tshida S, Kitawatase K, Fujii S, Asano S. J Phys, 1992; 4:765 [10] Nakajima K, Okamoto S. Appl Phys Lett. 1990; 56: 92 [11] Morisako A, Matsumoto M. Maoe M. J Appl Phys, 1991;69: 5619 [12] Jiang H, Wu Q L, Tao K, Li H D. J Appl Phys. 1995; 78:3299 [13] Yoshitake T, Ohkoshi M. IEEE Trans Magn, 1995; 31:3850 [14] Zhou J P, Li D, Gu Y S, Chang X R, Zhao C H, Li F S,Qiao I J, Tian Z Z, Fang G D, Song Q S. IEEE TransMagn, 2001; 37: 3844 [15] Zhou J P, Li D, Gu Y S. Chang X R, Zhao C S, Li V S,Qiao L J, Tian Z Z, Fang G D, Song Q S. J Magn MagnMater, 2002; 238: L1 [16] Peng D L, Sumiyama K, Suzuki K. J Alloys Compd, 1997;255: 50 [17] Narayan P B, Kim Y K. IEEE Trans Magn, 1994; 30:3921 [18] Hamrin K, Johansson G, Fahlman A, Nordling C. J PhysChem Solids, 1969; 30: 1835 [19] Herzer G. IEEE Trans Magn, 1990; 26: 1397 [20] Wang H Y, Jiang E Y, Wu P. J Magn Magn Mater, 1998;177-181: 1285 [1] 刘印,刘铁,王强,王慧敏,王丽,赫冀成. 强磁场热处理对TbFe2和Tb0.27Dy0.73Fe1.95合金晶体取向、微观形貌和磁致伸缩性能的影响[J]. 金属学报, 2013, 49(9): 1148-1152. [2] 许伯钧;谷南驹;阎殿然;殷福星. 低、中强度脉冲磁场回火对高速钢的组织和性能的影响[J]. 金属学报, 1989, 25(5): 42-48. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed