金属学报  1965, Vol. 8 Issue (2): 204-211

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影响真空淀积膜在平面衬底上分布的一些因素

罗阳;任基重

ВЛИЯНИЕ НЕКОТОРЫХ ФАКТОРОВ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНДЕНСАТА НА ПЛОСКОСТИ

Ло Ян Жэнъ Цэи-чжун

罗阳;任基重. 影响真空淀积膜在平面衬底上分布的一些因素[J]. 金属学报, 1965, 8(2): 204-211.
, . ВЛИЯНИЕ НЕКОТОРЫХ ФАКТОРОВ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНДЕНСАТА НА ПЛОСКОСТИ[J]. Acta Metall Sin, 1965, 8(2): 204-211.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(797 KB)   摘要: 探讨了淀积时间、衬底温度、多源蒸发以及蒸发速度等因素对真空淀积膜厚度分布的影响。发现对各种淀积膜均存在一定的临界厚度,当膜厚小于它时,淀积系数即为厚度的函数;讨论了等黑度膜淀积时间与衬底温度的关系;双源淀积膜厚度分布的测量结果表明,只要膜厚度远大于临界厚度时,则实际测量值与迭加两单源分布曲线之计算值间的差值不大于5％;对蒸发速度影响的研究指出,在计算非定成分样品浓度时,必须考虑到不同蒸发速度的影响。 Abstract：~~ 收稿日期: 1965-02-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 罗阳 任基重 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1965/V8/I2/204 [1] #12 [2] #12 [3] #12 [4] #12 [5] #12 [6] 罗阳、李文成:非定成分样品的备制及其研究,1964． [7] #12 [8] #12 [9] #12 [10] #12 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed