金属学报  1993, Vol. 29 Issue (3): 90-96

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

金属中强束流离子注入的温升效应

田人和;顾永俶;卢武星;林文廉;张通和;张荟星

北京师范大学低能核物理研究所;副教授;北京(100875);北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学

EFFECTS OF TEMPERATURE RISE IN METAL DURING HIGH CURRENTION-IMPLANTATION

TIAN Renhe;GU Yongti;LU Wuxing;LIN Wenlian;ZHANG Tonghe;ZHANG Huixing Institute of Low Energy Nuclear Plysics; Beijing Normal University associate professor;Institute of Low Energy Nuclear Physics;Beijing Normal University; Beijing 100875

田人和;顾永俶;卢武星;林文廉;张通和;张荟星. 金属中强束流离子注入的温升效应[J]. 金属学报, 1993, 29(3): 90-96.
, , , , , . EFFECTS OF TEMPERATURE RISE IN METAL DURING HIGH CURRENTION-IMPLANTATION[J]. Acta Metall Sin, 1993, 29(3): 90-96.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(576 KB)   摘要: 根据非线性热传导方程,用有限差分方法计算金属中强束流离子注入的温升效应给出了温升和温度分布曲线,以及样品表面温度与离子能量、剂量率、靶座温度、样品厚度等的关系曲线还计算了脉冲注入和扫描注入时的温升过程 关键词 ： T8A钢,  离子注入,  非线性热传导,  数值计算     Abstract：From solving the nonlinear equation of thermal conduction by using the finitedifference method,the effects of temperature rise in metals during high currention-implantation have been calculated. Curves of temperature rises, curves of profile temper-ature distributions, and dependences of sample surface temperature upon ion energies,doserates, target temperatures, and sample thicknesses are obtained. The processes of temperaturerise in pulsed and scanning ion-implantations are computed as well, and the temperaturefluctuations in them are discussed also. Key words： steel TBA    ion-implantation    non-linear thermal conduction    numerical calculation 收稿日期: 1993-03-18      基金资助:国家“863”计划资助项目 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 田人和 顾永俶 卢武星 林文廉 张通和 张荟星 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1993/V29/I3/90 1 Parry P D. J Vac Sci Technol, 1976; 13: 622 2 Parry P D. J Vac Sci Technol, 1978; 15: 111 3 Mack M E. In: Ryssel H. Glawischnig H eda., Ion Implantation; Equipment and Techniques, Berlin: Springer-Yerlag, 1983: 221 4 Smith T C. In: Ryssel H, Glawischnig H eds., Ion Implantation; Equipment and Techniques. Berlin: Springer-Yerlag, 1983: 196 5 Lindhard J, Scharff M. Phys Rev, 1961; 124: 128 6 Brice D K. Ion Implantation Range and Energy Deposition Distribution, Vol. Ⅰ, New York: IFI/Plenum Data Company, 1975: 571 7 Wiebelt J A. Engineering radiation Heat Transfer. New York: Holt, Rinehart and Winston, 1966: 74 8 西格尔 R,等.热辐射传热,第6-8章.北京:科学出版社,1990 9 秦元勋等.计算物理学.成都:四川科学技术出版社,1984:30 10 Touloukian Y S. Thermophysical Properties of Matter, Vol. T, New York: Plenum, 1970: 339 11 Adler R J. Picraux S T. Nucl Instrum Methods Phys Res, 1985: B6: 123 [1] 夏超, 钱仕, 王东辉, 刘宣勇. 碳离子注入医用Ti性能研究[J]. 金属学报, 2017, 53(10): 1393-1401. [2] 黄远 孔德月 何芳 王玉林 刘文西. 辐照损伤合金化制备Mo/Ag层状复合材料[J]. 金属学报, 2012, 48(10): 1253-1259. [3] 雷明凯 王克胜 欧伊翔 张磊. 泵阀用2Cr13马氏体不锈钢等离子体基低能氮离子注入研究[J]. 金属学报, 2011, 47(12): 1490-1494. [4] 刘洪喜; 蒋业华; 周荣; 周荣锋; 金青林; 汤宝寅 . 等离子体浸没离子注入与沉积合成TiN薄膜的滚动接触疲劳寿命和机械性能[J]. 金属学报, 2008, 44(3): 325-330 . [5] 刘慧颖 王学金 王浪平 王小峰 艾红军. 氟离子注入纯Ti表面改性对成骨细胞I型胶原形成和表达的影响[J]. 金属学报, 2008, 44(12): 1485-1490. [6] 刘洪喜; 王浪平; 王小峰; 黄; 磊; 汤宝寅 . TiC薄膜对轴承钢表面滚动接触疲劳寿命和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2006, 42(11): 1197-1201 . [7] 田连朋; 左禹; 赵景茂; 熊金平; 张晓丰; 赵旭辉 . Ti离子注入对Al阳极氧化膜层阻抗性质的影响[J]. 金属学报, 2005, 41(8): 804-808 . [8] 陈涛; 常海威; 雷明凯 . Al离子高温注入Fe靶的表面合金化研究[J]. 金属学报, 2005, 41(4): 417-420 . [9] 常海威; 陈涛; 雷明凯 . Cr离子高温注入Al靶的传质模型[J]. 金属学报, 2004, 40(6): 629-. [10] 李伟力; 孙跃; 郑馥; 费维栋 . 6061Al合金等离子体基离子注氮表面的动态标度行为[J]. 金属学报, 2002, 38(7): 741-744 . [11] 廖家轩; 夏立芳; 孙跃 . Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究[J]. 金属学报, 2001, 37(9): 922-926 . [12] 邹德宁; 雷永平; 梁工英; 苏俊义 . 用数值计算技术和试错法确定金属材料表面对激光的吸收率[J]. 金属学报, 2001, 37(7): 737-740 . [13] 孙阳; 冯乃祥; 崔建忠 . 186 kA大型预焙阳极铝电解槽磁场的三维数值计算[J]. 金属学报, 2001, 37(3): 332-336 . [14] 白彬; 张鹏程; 邹觉生; 陈元儒 . 温度对N离子注入金属深度分布的影响[J]. 金属学报, 2001, 37(1): 82-86 . [15] 于伟东; 夏立芳 . 纯银等离子体基离子注入Al层的成分及相分析[J]. 金属学报, 2000, 36(8): 805-808 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed