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金属学报  1993, Vol. 29 Issue (3): 90-96    
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金属中强束流离子注入的温升效应
田人和;顾永俶;卢武星;林文廉;张通和;张荟星
北京师范大学低能核物理研究所;副教授;北京(100875);北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学;北京师范大学
EFFECTS OF TEMPERATURE RISE IN METAL DURING HIGH CURRENTION-IMPLANTATION
TIAN Renhe;GU Yongti;LU Wuxing;LIN Wenlian;ZHANG Tonghe;ZHANG Huixing Institute of Low Energy Nuclear Plysics; Beijing Normal University associate professor;Institute of Low Energy Nuclear Physics;Beijing Normal University; Beijing 100875
引用本文:

田人和;顾永俶;卢武星;林文廉;张通和;张荟星. 金属中强束流离子注入的温升效应[J]. 金属学报, 1993, 29(3): 90-96.
, , , , , . EFFECTS OF TEMPERATURE RISE IN METAL DURING HIGH CURRENTION-IMPLANTATION[J]. Acta Metall Sin, 1993, 29(3): 90-96.

全文: PDF(576 KB)  
摘要: 根据非线性热传导方程,用有限差分方法计算金属中强束流离子注入的温升效应给出了温升和温度分布曲线,以及样品表面温度与离子能量、剂量率、靶座温度、样品厚度等的关系曲线还计算了脉冲注入和扫描注入时的温升过程
关键词 T8A钢离子注入非线性热传导数值计算    
Abstract:From solving the nonlinear equation of thermal conduction by using the finitedifference method,the effects of temperature rise in metals during high currention-implantation have been calculated. Curves of temperature rises, curves of profile temper-ature distributions, and dependences of sample surface temperature upon ion energies,doserates, target temperatures, and sample thicknesses are obtained. The processes of temperaturerise in pulsed and scanning ion-implantations are computed as well, and the temperaturefluctuations in them are discussed also.
Key wordssteel TBA    ion-implantation    non-linear thermal conduction    numerical calculation
收稿日期: 1993-03-18     
基金资助:国家“863”计划资助项目
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