用薄膜内耗仪测定薄膜应力

金属学报

2003, Vol. 39

Issue (11): 1225-1227

论文

本期目录 | 过刊浏览

用薄膜内耗仪测定薄膜应力

李健 M.Wuttig

上海宝山钢铁股份公司分析技术中心;上海201900

引用本文:

李健; M.Wuttig . 用薄膜内耗仪测定薄膜应力[J]. 金属学报, 2003, 39(11): 1225-1227 .

全文: PDF(146 KB)

摘要: 采用一种新的薄膜内耗仪观测Ni50Ti50薄膜样品的形变(薄膜形变造成薄膜与载膜硅片之间的界面应力)随温度或其它环境参量的变化．同步测量了薄膜的内耗、动态模量、薄膜应力以及Ni50Ti50薄膜的相变过程.

关键词 ：内耗, 形状记忆效应, 薄膜应力

Key words：

收稿日期: 2003-07-09

ZTFLH:

TG111.7

	服务

	把本文推荐给朋友
	加入引用管理器
	E-mail Alert
	RSS
	作者相关文章
	李健
	M.Wuttig
44.8K

链接本文:

https://www.ams.org.cn/CN/Y2003/V39/I11/1225

[1] Wuttig M, Craciunescu C, Li J. Mater Trans JIM, 2000;41: 933
[2] Mathews S, Li J, Su Q M, Wuttig M. Philos Mag, 1999;79: 265
[3] Li Q. Met Fund Mater, 1999; 6(1) : 12(李青.金属功能材料, 1999;6(1) :12)
[4] Gong F F, Shen H M, Wang Y N, Jiang E Y. Acta Metall Sin, 1998; 34: 119(宫峰飞,沈惠敏,王业宁,姜恩永.金属学报,1998;34:119)
[5] Kim T. PhD Thesis, University of Maryland, College Park, Maryland, USA, 1994: 18|

[1]	陈斐, 邱鹏程, 刘洋, 孙兵兵, 赵海生, 沈强. 原位激光定向能量沉积NiTi形状记忆合金的微观结构和力学性能[J]. 金属学报, 2023, 59(1): 180-190.
[2]	张鑫, 崔博, 孙斌, 赵旭, 张欣, 刘庆锁, 董治中. Y元素对Cu-Al-Ni高温形状记忆合金性能的影响[J]. 金属学报, 2022, 58(8): 1065-1071.
[3]	左良, 李宗宾, 闫海乐, 杨波, 赵骧. 多晶Ni-Mn-X相变合金的织构化与功能行为[J]. 金属学报, 2021, 57(11): 1396-1415.
[4]	贺志荣, 吴佩泽, 刘康凯, 冯辉, 杜雨青, 冀荣耀. 激冷Ti-47Ni合金薄带的组织、相变和形状记忆行为[J]. 金属学报, 2018, 54(8): 1157-1164.
[5]	李维娟, 张恒毅, 付豪, 张建平, 戚翔宇. 低碳钢烘烤硬化机制的内耗研究[J]. 金属学报, 2015, 51(4): 385-392.
[6]	王华史文何燕霖符仁钰李麟. Mn和P在超低碳烘烤硬化钢中的分布形态及对其拉伸行为的影响研究[J]. 金属学报, 2011, 47(3): 263-268.
[7]	贺志荣王芳. 热处理对Ti-Ni-Cr低温超弹性合金相变行为的影响[J]. 金属学报, 2010, 46(3): 329-333.
[8]	吴杰崔洪芝迟静姚树玉韩福生. B2 Fe-Al合金有序化过程中的内耗峰[J]. 金属学报, 2009, 45(4): 396-399.
[9]	游素琴崔玉亭武亮孔春阳马勇杨晓红潘复生. Ni_53.2Mn_22.6Ga_24.2单晶的磁控形状记忆效应和磁控超弹性特性[J]. 金属学报, 2009, 45(3): 351-355.
[10]	张建; 李秀艳; 赵明久; 戎利建 . 晶界相对Fe-Ni-Cr奥氏体合金氢脆的影响[J]. 金属学报, 2008, 44(9): 1095-1098 .
[11]	孙蔚; 韩福生; 吴杰 . Fe-Al合金中与Al反位置原子弛豫有关的内耗峰[J]. 金属学报, 2007, 43(3): 311-314 .
[12]	文玉华; 张伟; 李宁; 谢文玲; 王杉华 . 控制第二相方向性析出对铁基合金记忆效应的影响[J]. 金属学报, 2006, 42(11): 1217-1220 .
[13]	汪宏斌; 王晓宇; 张骥华; 徐祖耀 . 纳米晶Fe-25%Ni合金块材的内耗研究[J]. 金属学报, 2004, 40(5): 523-526 .
[14]	马永青; 宋文海; 戴建明; 张瑞丽; 杨杰; 杜家驹; 孙玉平 . 钙钛矿结构锰氧化物La0.67Ca0.33MnO3的内耗研究[J]. 金属学报, 2003, 39(11): 1173-1175 .
[15]	余黎明; 李晶晶; 马岳 . 热老化对ZN－1阻尼材料内耗特性的影响[J]. 金属学报, 2003, 39(11): 1205-1208 .

Viewed

Full text

Abstract

Cited

Shared

Discussed