金属学报  2000, Vol. 36 Issue (8): 805-808

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纯银等离子体基离子注入Al层的成分及相分析

于伟东 夏立芳

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院; 哈尔滨 150001

于伟东; 夏立芳 . 纯银等离子体基离子注入Al层的成分及相分析[J]. 金属学报, 2000, 36(8): 805-808 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(158 KB)   摘要: 采用金属等离子体离子注入的方法, 在Ａｇ基体上注入了Ａｌ, 用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对注入层的Ａｌ浓度－深度分布和化学态进行了分析, 用 射法（ＸＲＤ）对注入层和非平衡磁控溅射的Ａｌ沉积层相组成进行了测定和比较, 选用小掠射角（３°）ＸＲＤ对注入层的相组成进行了测定, 结果表明, 注入层中Ａｌ浓度沿深度方向逐渐降低, 表面有Ａｇ原子存在；近表面处形成了Ａｇ－Ａｌ固溶体并且出现了少量的μ－Ａｇ３Ａｌ相 关键词 ： 等离了体基离子注入,  纯银     Key words： 收稿日期: 2000-02-01      ZTFLH:  TG174.444 TG166.786   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 于伟东 夏立芳 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2000/V36/I8/805 [1] Liu B X. Vacuum, 1991; 1/2: 75 [2] Clapham L, Whition J L. J Appl Phys, 1992; 1: 4014 [3] Antlers A. Surf Coat Technol, 1997; 93: 158 [4] Brown I G, Antlers A, Antlers S, Antlers S, Dickinson MR, MacGill R A. J Vac Sci Techol, 1994; B12(2): 823 [5] Xia Z, Chan C, Meassick S, Purser R. J Vac Set Techol,1995; B13(5): 1999 [6] Ryabchikov A 1. Surf Coat Technol, 1997; 96: 9 [7] Tolopa A. Surf Coat Technol, 1997; 93: 168 [8] Yu W D, Xia L F, Sun Y. Surf Coat Technol, 2000 (inpress) [9] Ji H B, Xia L F, Ma X X, Sun Y, Sun M R. Wear, 1999;225-229: 835 [10] Moulder J F, Stickle W F, Sobol P E, Bomben K D. Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy. Minnesota:Perkin-Elmer Corporation Physical Electronics Division,1992: 27 [11] He C X, Zhou Y H, Wang W N. Phase Diagrams of Precious Metal Alloys First Supplement. Beijing: Metallurgical Iindustry Press, 1993: 1(何纯孝,周月华,王文娜.贵金属合金相图第一补编北京:冶金工业出版社, 1993: 1)M No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed