金属学报  2000, Vol. 36 Issue (11): 1201-1204

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离子束溅射制备立方C-N化合物

王天生 于栋利

中国科学院物理研究所;北京 100080

王天生; 于栋利 . 离子束溅射制备立方C-N化合物[J]. 金属学报, 2000, 36(11): 1201-1204 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(141 KB)   摘要: 用氮离子束分别原位溅射Ｔｉ和石墨靶的方法制备了ＣＮｘ／ＴｉＮｙ多层膜. 用Ｘ射线光电子谱分析ＣＮｘ层中Ｃ和Ｎ的键合状态, 用透射电镜观察薄膜中的相形貌, 用电子衍射和Ｘ射线衍射的方法分析相的结构. 结果表明, ＣＮｘ层中主要有Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ和Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ两种键合状态, 薄膜中观察到的Ｃ－Ｎ化合物尺寸为１０－６０ｎｍ的晶体颗粒, 其衍射数据可用立方Ｃ３Ｎ４结构标定, 证实了该薄膜中存在立方Ｃ３Ｎ４化合物. 关键词 ： C－N化合物,  离子束溅射     Key words： 收稿日期: 1999-11-15      ZTFLH:  TB43 TB321   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 王天生 于栋利 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2000/V36/I11/1201 [1] Liu A Y, Cohen M L. Science, 1989; 245: 841 [2] Liu A Y, Cohen M L. Phys Rev, 1990; B41: 10727 [3] Corkill J L, Cohen M L. Phys Rev, 1993; B48: 17622 [4] Yao H, Ching W Y. Phys Rev, 1994; B50: 11231 [5] Liu A Y, Wentzcovitch R M. Phys Rev, 1994; B50: 10362 [6] Ortega J, Sankey O F. Phys Rev, 1995; B51: 2624 [7] Sekine T, Kanda H B, Bando Y, Yokoyama M, Hojou K.J Mater Sci Lett, 1990; 9: 1376 [8] Maya L, Cole D R, Hagaman E W. J Am Ceram Soc,1991; 74: 1686 [9] Niu C, Lu Y Z, Lieber C M. Science, 1993; 261: 334 [10] Marton D, Boyd K J, Al-Bayati A H, Todorov S S, Rabalais J W. Phys Rev Lett, 1994; 73: 118 [11] Yu K M, Cohen M L, Haller E E, Hansen W L, Liu A M,Wu I C. Phys Rev, 1994; B49: 5034 [12] Ren Z M, Du Y C, Qiu Y, Wu J D, Ying Z F, Xiong X X,Li F M. Phys Rev, 1995; B51: 5274 [13] Yang Y, Nelson K A, Adibi F. J Mater Res, 1995; 10: 41 [14] Tian Y, Ren X, Yu D, He J, Zheng H, Chen S, Li D, YuR, Zhang M, Zhang J, Wang W. Chin Sci Bull, 1996; 41:1038 [15] He X, Shu L, Li W, Li H. J Mater Res, 1997; 12: 1595 [16] Li Y A, Xu S, Li H S, Luo W Y. J Mater Sci Lett, 1998;17: 31 [17] Sjostrom H, Stafstrom S, Boman M, Sundgren J E. PhysRev Lett, 1995; 75: 1336 [18] Guo L P, Chen Y, Wang E G, Li L, Zhao Z X. J CrystGrowth, 1997; 178: 639 [19] Guo L P, Chen Y, Wang E G, Li L, Zhao Z X. Chem PhysLett, 1997; 268: 26 [20] Teter D M, Hemley R J. Science, 1996; 271: 53 [21] Peng Y, Ishigaki T, Horiuchi S. Appl Phys Lett, 1998; 73:3671 [22] Fu Q, Jiu J T, Cai K, Wang H, Cao C B, Zhu H S. PhysRev, 1999; B59: 1693 [23] Wang J, Lei J, Wang R. Phys Rev, 1998; B58: 11890 No related articles found! Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed