金属学报  2002, Vol. 38 Issue (4): 407-410

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Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属膜的划痕特征载荷

唐武　 马幼平　 徐可为　 王平　 李弦

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;西安710049

唐武; 马幼平; 徐可为; 王平; 李弦 . Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属膜的划痕特征载荷[J]. 金属学报, 2002, 38(4): 407-410 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(146 KB)   摘要: 采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属薄膜的临界载荷Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化,在单一金属薄膜层中两者均无大的变化.对应实验范围内不同的沉积温度,拐点特征载荷值基本不受其影响,而主要取决于多层膜的层厚和层数. 关键词 ： 划痕法,  金属薄膜,  临界载荷     Key words： 收稿日期: 2001-07-09      ZTFLH:  TG113.25   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 唐武 马幼平 徐可为 王平 李弦 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2002/V38/I4/407 [1] Kraatz P, Lee T H, Weil L, Thin Solid Films, 1997; 308-309: 375 [2] Jain A. Surf Coat Technol, 1998; 103-104(5): 20 [3] Fujinami Y, Hayashi H, Ebe A, Imai O, Ogata K. MaterChem Phys, 1998; 54: 102 [4] Gupta V, Hernandez R, Wu J X, Charconnet P. Vacuum,2000; 59: 292 [5] Baumann J, We rner T, Ehrlich A, Rennau M, KaufmannCh, Gessner T. Microelectron Eng, 1997; 37-38: 221 [6] Pauskardt R H, Lane M, Ma Q, Krishna N. Eng FractMech, 1998; 61: 141 [7] Lchimura H, Rodrigo A. Surf Coat Technol, 2000; 126(4):152 [8] Xie Z W, Zhu J. Thin Solid Films, 1998; 315(3): 192 [9] Randall N X, Favaro G, Frankel C H, Surf Coat Technol,2001; 137(3): 146 [10] Efeoglu I, Arnell R D. Thin Solid Films, 2000; 377-378(10): 346 [11] Xie F, Yuan J W, Xu K W, He J W. Surf Coat Technol,1999; 112(2): 236 [1] 张广平, 陈红蕾, 罗雪梅, 张滨. 微纳米尺度金属导电材料热疲劳研究进展[J]. 金属学报, 2018, 54(3): 357-366. [2] 刘进,劳远侠,汪渊. Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2017, 53(4): 465-471. [3] 郭斌; 周健; 单德彬; 王慧敏 . 黄铜箔拉伸屈服强度的尺寸效应[J]. 金属学报, 2008, 44(4): 419-422 . [4] 马大衍; 王昕; 马胜利; 徐可为 . Ti-Si-N纳米复相薄膜及Si含量对脉冲直流PCVD镀膜质量的影响[J]. 金属学报, 2003, 39(10): 1047-1050 . [5] 童文辉; 杨院生; 朱仕学; 惠希东; 陈晓明; 于力 ; 胡壮麒 . 激光熔凝过程中金属薄膜瞬态电阻的测量[J]. 金属学报, 2001, 37(11): 1213-1216 . [6] 杜昊; 肖金泉 . 利用有效媒质理论对纳米金属薄膜介电函数的初步分析[J]. 金属学报, 2000, 36(11): 1165-1168 . [7] 马德军; Jian.L.U; 徐可为; 何家文 . 利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅰ.数值和模拟[J]. 金属学报, 1999, 35(10): 1043-1048 . [8] 马德军; Jian L.U; 徐可为; 何家文 . 利用纳米压入加载曲线确定金属薄膜的屈服强度和硬化指数Ⅱ.实验及验证[J]. 金属学报, 1999, 35(10): 1049-1052 . [9] 马德军;徐可为;何家文. 测定金属薄膜屈服强度的纳米压入法研究[J]. 金属学报, 1998, 34(6): 661-666. [10] 尚玉华;郭延风;刘志东;徐乐英. 薄膜厚度的电子探针测量软件与应用[J]. 金属学报, 1997, 33(4): 443-448. [11] 刘长清;金柱京;于力;于志明;吴维(山文). PVD薄膜的粘附性和塑韧性评估[J]. 金属学报, 1992, 28(4): 77-82. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed