辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系

金属学报

1992, Vol. 28

Issue (5): 85-89

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辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系

任建世;张功杼;王桢枢;刘根;刘圣麟

中国科学院金属研究所;中国科学院金属研究所;高级工程师;沈阳(110015)中国科学院金属研究所;上海工业大学;上海工业大学;上海工业大学

CORRELATION BETWEEN CONSTITUENT AND SPUTTERING RATE OF BINARY ALLOYS IN GLOW DISCHARGE LAMP

REN Jianshi;ZHANG Gongshu;WANG Zhenshu;LIU Gen;LIU Shenglin Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang; Shanghai University of Technology Correspondent senior engineer; Institute of Metal Research; Academia Sinica; Shenyang 110015

引用本文:

任建世;张功杼;王桢枢;刘根;刘圣麟. 辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系[J]. 金属学报, 1992, 28(5): 85-89.
, , , , . CORRELATION BETWEEN CONSTITUENT AND SPUTTERING RATE OF BINARY ALLOYS IN GLOW DISCHARGE LAMP[J]. Acta Metall Sin, 1992, 28(5): 85-89.

全文: PDF(416 KB)

摘要: 在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组元的溅射率相差不大时,可以近似看成线性关系。

关键词 ：二元合金, 辉光放电, 阴极溅射, 溅射率

Abstract：Investigation was made of the sputtering rate in glow discharge lamp with re-lation to constituent of 25 different specimens of 6 binary systems, namely, Cr-Fe, Bi-Sb,Cu-Zn, Ag-Cu, Al-Zn and Cd-Sn, by measuring mass loss after each sputtering under con-stant Ar pressure and voltage applied. The correlation, in general, between sputtering rate andconcentration of constituent of these non-intermetallic binary alloys obeys the hyperbolic lawunder steady state, yet may be approximately regarded as linear only on certain special condi-tion if the two components of the alloys with similar sputtering rates.

Key words： cathode sputtering glow discharge binary alloy sputtering rate

收稿日期: 1992-05-18

基金资助:国家自然科学基金;;上海高教局科技发展基金资助课题

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