东北大学真空与流体工程研究中心, 沈阳 110819
中图分类号: O472
通讯作者:
收稿日期: 2013-04-23
修回日期: 2013-04-23
网络出版日期: --
版权声明: 2014 《金属学报》编辑部 版权所有 2014, 金属学报编辑部。使用时,请务必标明出处。
基金资助:
作者简介:
单麟婷, 女, 1984年生, 博士生
展开
摘要
采用溶胶凝胶法制备不同Ce含量的Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜, 通过实验及第一性原理计算研究了掺杂对SnO2微观结构及光电特性的影响. 结果表明, 掺杂后薄膜物相未发生较大变化, Cu, Ce均以替代Sn位形式掺入, 形成
关键词:
Abstract
Tin dioxide (SnO2) is a wide band gap semiconductor. SnO2 has recently received a large interest because of its multiple technological applications, including solar cells, optoelectronic devices, flat panel displays, gas sensors, architectural windows and catalysts, owing to its good optical and electrical properties and excellent chemical and thermal stability. Compared to traditional materials which based on sulfur compound, rare earth elements doped oxides possess obvious advantages, such as good chemical stability, high transparency in the range of visible light, and nontoxic. In this work, the Ce-Cu codoping of SnO2 thin films were prepared by sol-gel method. The influence of Ce-Cu codoping on the microstructural and optoelectrical properties has been investigated. Both Cu and Ce dopants are incorporated at substitutional sites (
Keywords:
SnO2是一种直接带隙宽禁带(Eg=3.6 eV) n型半导体材料, 其价带组成为O2p能级, 导带为Sn5s能级[
将SnCl2·2H2O溶于CH3CH2OH中获得0.4 mol/L溶液, 80 ℃回流搅拌1 h后, 加入一定量的CuCl2·2H2O和Ce(NO3)3·6H2O继续搅拌2 h, 使其无颗粒和沉淀物, 形成透明匀质溶胶, 静置陈化48 h[
用X'Pert Pro型X射线衍射仪(XRD)分析薄膜晶态结构; 用SSX-550扫描电镜(SEM)分析薄膜的表面形貌; 利用UV759S紫外可见分光光度计测定样品紫外-可见光透射谱图, 其光波范围为300~800 nm; 采用FP-6500 荧光分光光度计测定样品光致发光性能, 激发波长496 nm, 测量范围300~650 nm; 用TH-CS1型直流数显恒流源和3056函数记录仪, 采用四探针法测量薄膜电阻率; 利用LK2005A电化学工作站测试样品的电流-电压(I-E)特性, 测试范围在0~6 eV. 所有测试都在室温下进行.
为进一步了解CuSn和CeSn缺陷对SnO2电子结构的影响, 对SnO2, Cu-SnO2及Ce-Cu共掺杂SnO2进行了第一性原理计算. 基于密度泛函理论的第一性原理, 采用周期性边界条件, 用广义梯度近似(GGA)来处理电子间的交换关联能. SnO2为金红石结构, 空间群为P42/mnm, 其原胞包含2个Sn原子和4个O原子, Sn原子占据四方体顶点和体心位置. 构建2×2×2的SnO2超晶胞结构中, 分别用Cu和Ce替代Sn进行模拟计算. 取SnO2晶格常数α=β=γ=90°, a=b=0.4737 nm, c=0.3186 nm, 平面波截断能Ecut为350 eV, 自洽迭代过程中使用的k点数为3×3×4. 计算过程迭代进行, 自洽收敛精度为1×10-5 eV/atom, 对超晶胞均进行结构优化, 作用在各个原子上的力均小于0.05 eV/nm, 计算中考虑的价电子组态有: O2s2p, Sn5s5p, Cu4s4p3d, Ce4f5d5p6s. 计算都在倒易空间中进行.
图1为不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜的XRD谱. 可以看出, 掺杂前后薄膜物相并未发生较大变化, 均属四方金红石结构. Cu单掺杂及Ce-Cu共掺杂SnO2样品均未出现与Cu, Ce相关的衍射峰, 说明Cu, Ce掺入SnO2晶格中. 与纯SnO2相比, Cu-SnO2(1%Cu)衍射峰略微宽化, 可认为是晶粒细化引起的[
表1 不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜样品的晶格常数和晶粒尺寸
Sample | a=b / nm | c / nm | Volume / nm3 | Grain size / nm |
---|---|---|---|---|
Pure | 0.4737 | 0.3185 | 0.07147 | 7.6 |
1%Cu | 0.4736 | 0.3184 | 0.07143 | 7.4 |
0.5%CeCu | 0.4737 | 0.3186 | 0.07151 | 6.6 |
1%CeCu | 0.4751 | 0.3197 | 0.07215 | 6.1 |
3%CeCu | 0.4738 | 0.3187 | 0.07155 | 5.4 |
5%CeCu | 0.4755 | 0.3199 | 0.07234 | 3.7 |
7%CeCu | 0.4746 | 0.3193 | 0.07191 | 3.4 |
1%Cu掺杂后对SnO2晶格常数和晶胞体积几乎没有影响, 因为Cu2+替代Sn4+(CuSn)掺入晶格, 但Cu2+半径(0.069 nm)与Sn4+(0.071 nm)相差不大[
图2为不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜的SEM像. 由图2a可看出, 纯SnO2薄膜表面裂纹较多, 裂纹宽约0.32 nm。Cu掺杂后(图2b), 薄膜裂纹变窄, 裂纹宽约为0.21 nm. Ce共掺杂后, 薄膜表面平整, 孔洞较少; 随Ce掺杂浓度增加, 孔洞逐渐增多且密集, 当Ce掺杂浓度增大至5%时, 薄膜出现密集且细小裂纹(宽度为0.19 nm), 其原因可能是受到内应力作用. 根据公式:
式中,
图3为不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜的透射光谱. 除7%CeCu共掺杂SnO2外, 样品的透光率均达85%以上. SnO2薄膜的带隙较宽, 大于可见光光子能量最大值(3.1 eV), 故在可见光范围内光吸收可忽略不计[
式中,
图4为不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜的光致发光光谱, SnO2在390 nm附近出现紫外发光峰, 对应能量为3.18 eV, 小于SnO2 薄膜的光学带隙, 发光峰强度主要与O空位等本征缺陷有关[
图5a为不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜I-E曲线。Cu, Ce-Cu掺杂后样品导电性均有所下降, 电阻率测得结果见表2. 为进一步分析薄膜导电机制, 对I-E曲线进行lgI-lgE变换, 得出不同施加电压下的曲线斜率值[
式中, θ为自由电子与陷阱中电子的比率, 当陷阱态被充满时,
表2 不同浓度Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜的电阻率和载流子迁移率
Sample | Resistivity / (103 Ωcm) | Carrier mobility / (cm2 V-1s-1) |
---|---|---|
Pure | 1.75 | 162.15 |
1%Cu | 9.02 | 2.14 |
0.5%CeCu | 8.05 | 54.60 |
1% CeCu | 7.91 | 46.65 |
3%CeCu | 2.43 | 171.35 |
5%CeCu | 6.54 | 1.35 |
7%CeCu | 14.69 | 2.45 |
图6a为纯SnO2的总态密度和分态密度图. 可见纯SnO2价带部分可以分为2个区域: 从-8.9~-6.2 eV之间由Sn5s态形成的下价带区域, 从-6.2~0 eV之间主要由Sn5p和O2p态形成的上价带区域. 在-19~-16 eV处由O2s态形成的电子态,由于该部分远离Fermi能级, 对SnO2的各种性质影响较小, 故忽略不计. 导带主要由Sn5s和O2p态耦合而成, 导带底和价带顶分别由Sn5s和O2p态占据, 因此SnO2的带隙主要由Sn5s和O2p决定. 由图6b可见, Cu掺杂后在靠近价带顶附近出现局域态, 这是由Cu的3d态贡献的, 表明Cu替代Sn在SnO2中引入受主能级, 进而补偿本征施主缺陷, 与Cu掺杂后SnO2导电性下降的电流-电压测试结果相符. 掺杂体系的Fermi能级进入价带形成简并态, 呈现p型导电性. 此外, 掺杂Cu使O2p态向高能方向移动, Cu3d态与O2p态发生杂化会使能带带隙变小. 由图6c可知, 其价带与Cu掺杂SnO2相似, 下价带主要由Sn5s形成, Cu3d和O2p共同提供上价带的电子态, Cu3d态在价带顶附近产生受主能级, 并与价带杂交形成简并态. 同样掺杂体系的Fermi能级也进入价带, 表现为p型导电性. 缺陷带和杂质带之间的交叠, 以及Ce共掺杂使导带整体向低能方向移动, 使带隙进一步减小, 受主电离能降低, 因此导电性变好.
采用溶胶-凝胶法制备了Ce-Cu共掺杂SnO2薄膜并通过实验及第一性原理计算研究了掺杂对SnO2微观结构及光电特性的影响.
(1) XRD结果表明, 掺杂前后薄膜物相均属四方金红石结构, Cu, Ce都以替代Sn位形式掺入, 形成
(2) 透射光谱分析表明, 随Ce掺杂浓度的增加, 可见光透射率降低, 光学带隙减小.
(3) 由发射光谱可知, 随Ce浓度增加, 2处发光峰强度都有所增强, 可能是由缺陷态导致的非辐射复合减弱所引起的, 当Ce掺杂浓度超过3%后, 发生浓度淬灭导致发光峰强度减弱, SnO2发光峰与O空位有关, 470 nm处发光峰是由Ce3+的5d1激发态向基态4f1的劈裂能级2F5/2和2F7/2的跃迁.
(4) 由电流-电压分析可知, 样品在低电压下电导是由价带向导带跃迁的电子浓度决定, 随电压增大, 薄膜导电机制由禁带中陷阱决定, 当未被载流子填满时符合TCLC机制, 填满时符合SCLC机制.
(5) 第一性原理计算表明, Cu杂质在价带顶上方引入受主能级, Ce 掺杂使导带整体下移, 导致光带隙减小, 电子跃迁能降低, 进而提高导电性. 与单掺杂或纯SnO2薄膜相比, Ce-Cu共掺杂能改善薄膜的微观组织结构、提高光电特性, 可应用于电致发光、光电二极管等领域.
[1] |
|
[2] |
|
[3] |
|
[4] |
|
[5] |
|
[6] |
|
[7] |
|
[8] |
|
[9] |
|
[10] |
|
[11] |
|
[12] |
|
[13] |
|
[14] |
|
[15] |
|
[16] |
|
[17] |
|
[18] |
|
[19] |
|
[20] |
|
[21] |
|
[22] |
|
[23] |
|
[24] |
|
[25] |
|
[26] |
|
[27] |
|
[28] |
|
[29] |
|
[30] |
|
[31] |
|
[32] |
|
[33] |
|
[34] |
|
[35] |
|
/
〈 |
|
〉 |