金属学报  2005, Vol. 41 Issue (10): 1091-1094

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甲烷浓度对等离子喷射金刚石厚膜生长稳定性的影响

陈荣发 左敦稳 李多生 相炳坤 赵礼刚 王 珉

南京航空航天大学机电学院; 南京 210016

陈荣发; 左敦稳; 李多生; 相炳坤; 赵礼刚; 王珉 . 甲烷浓度对等离子喷射金刚石厚膜生长稳定性的影响[J]. 金属学报, 2005, 41(10): 1091-1094 .

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(246 KB)   摘要: 采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜。实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳定性，其程度随甲烷浓度的不同而变化。从理论和实验两个方面对这种不稳定性进行了讨论, 认为直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度是生长不稳定性的根本原因。 实验结果表明，在沉积金刚石厚膜时，为了稳定地获得高质量的厚膜，甲烷浓度不宜过高。 关键词 ： 金刚石厚膜,  生长稳定性,  甲烷浓度     Key words： 收稿日期: 2005-03-14      ZTFLH:  TG174.442   服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 陈荣发 左敦稳 李多生 相炳坤 赵礼刚 王珉 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/Y2005/V41/I10/1091 [1] Busch J V, Dismukes J P. Diamond Relat Mater, 1994; 3:295 [2] Lu F X，Huang T B，Tang W Z，Song J H，Tong Y M．Trans Mater Heat Treat，2001；22(1)：46(吕反修，黄天斌，唐伟忠，宋建华，佟玉梅．材料热处理学报，2001；22(1)：46) [3] Ravi KV.J Mater Res, 1992; 7: 384 [4] Lu F X, Zhong G F, Sun J G,PuY L, Tang W Z, Wang J J, Li G H, Zang J M, Pan C H, Tang C H,Lo T L, Zhang Y G. Diamond Relat Mater, 1998; 7: 737 [5] Lu F X, Tang W Z, Huang T B, Liu J M, Song J H, Yu W X, Tong Y M. Diamond Relat Mater, 2001; 10: 1551 [6] Zuo D W, Song S L, Wang M. Key Engin Mater, 2004;258-259: 517 [7] Lu W Z，Zuo D W，Wang M，Li X F，Song S L，Xiang B K．Mach Design Manuf，2003；41(6)：81(卢文壮，左敦稳，王珉，黎向锋，宋胜利，相炳坤．机械设计与制造，2003；41(6)：81) [8] Goodwin D G. J Appl Phys, 1993; 74: 6890 [9] Song S L，Zuo D W，Wang M，Li X F．J Appl Sci，2003；21：423(宋胜利，左敦稳，王珉，黎向锋．应用科学学报，2003；21：423) [10] Zhu Y，Zuo D W，Wang M，Lu W Z，Song S L．J Synth Crys，2003；32：605(朱胤，左敦稳，王珉，卢文壮，宋胜利．人工晶体学报，2003；32：605)# [1] 李㼆,孙超,宫骏. 共沉淀法制备镁基六铝酸镧粉体的性能研究[J]. 金属学报, 2019, 55(5): 657-663. [2] 梁秀兵 张志彬 陈永雄 徐滨士. 铝基非晶纳米晶复合涂层研究[J]. 金属学报, 2012, 48(3): 289-297. [3] 徐娜 张甲 侯万良 全明秀 李荣德 常新春. 热处理对高温固体自润滑涂层组织结构及结合强度的影响[J]. 金属学报, 2009, 45(8): 943-948. [4] 周香林; 苏贤涌; 崔华; 郭辉华; 巫湘坤; 张济山 . 颗粒材料特性对冷喷涂撞击行为影响的模拟研究[J]. 金属学报, 2008, 44(11): 1286-1291 . [5] 潘冶; 王春明; 郑仲瑜; 佟晓辉 . 等离子喷涂纳米SiCf/FeS复合涂层的摩擦学性能[J]. 金属学报, 2008, 44(4): 463-466 . [6] 吕宇鹏; 李士同; 梁栋科; 朱瑞富; 李木森; 雷廷权 . 等离子体熔融钛与羟基磷灰石混合粉颗粒的形态和相组成[J]. 金属学报, 2002, 38(12): 1292-1294 . [7] 刘长松; 刘永合 . 输入焓对火焰喷涂合成TiC-Fe涂层的影响[J]. 金属学报, 2000, 36(11): 1209-1212 . [8] 李远士; 牛焱 . Fe—Cu纳米涂层在700与800℃空气中的氧化[J]. 金属学报, 2000, 36(8): 847-850 . [9] 刘长松; 刘永合 . 火焰喷涂合成TiC—Fe涂层的热力学分析[J]. 金属学报, 2000, 36(1): 62-66 . [10] 潘文霞; 吴承康 . 氮化铝基板与Cu和Al的接合及其表面改质效果[J]. 金属学报, 2000, 36(1): 67-71 . [11] 马岳; 段祝平; 吴承康 . 激光熔覆对改善等离子涂层界面结合性能的研究[J]. 金属学报, 1999, 35(9): 985-988 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed