电弧复合磁控溅射结合热退火制备Ti2AlC涂层 |
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李文涛,王振玉,张栋,潘建国,柯培玲,汪爱英 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
Preparation of Ti2AlC Coating by the Combination of a Hybrid Cathode Arc/Magnetron Sputtering with Post-Annealing |
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Wentao LI,Zhenyu WANG,Dong ZHANG,Jianguo PAN,Peiling KE,Aiying WANG | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
表1 Ti-Al-C涂层沉积参数 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
Table 1 Deposition parameters of Ti-Al-C coatings | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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