N掺杂对磁控溅射Ta涂层微观结构与耐磨损性能的影响 |
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| 杨莎莎,杨峰,陈明辉,牛云松,朱圣龙,王福会 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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Effect of Nitrogen Doping on Microstructure and Wear Resistance of Tantalum Coatings Deposited by Direct Current Magnetron Sputtering |
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| Shasha YANG,Feng YANG,Minghui CHEN,Yunsong NIU,Shenglong ZHU,Fuhui WANG | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 表2 Ta涂层的力学性能和磨损率 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Table 2 Mechanical properties and wear rates of as-deposited Ta coatings | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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