金属学报  1997, Vol. 33 Issue (6): 667-672

论文 本期目录 | 过刊浏览 |

用临界钝化电流法和液晶法检测金属氧化物膜的缺陷率

印仁和;曹为民;李亚君;李卓棠;荣国斌

上海大学;上海;201800;上海大学;上海;201800;上海大学;上海;201800;上海大学;上海;201800;华东理工大学;上海;200237

THE INSPECTION OF DEFECTS IN METAL OXIDE FILMS BY CPCD AND LIQUID CRYSTAL METHODS

YIN Renhe; CAO Weimin; LI Yajun(The Electrochemical Research Center; ShanghaiUniversity; Shanghai 201800) LI Zhuotang (Deportment of Materials; Shanghai University)) RONG Guobin (East China University of Science and Technology)

印仁和;曹为民;李亚君;李卓棠;荣国斌. 用临界钝化电流法和液晶法检测金属氧化物膜的缺陷率[J]. 金属学报, 1997, 33(6): 667-672.
, , , , . THE INSPECTION OF DEFECTS IN METAL OXIDE FILMS BY CPCD AND LIQUID CRYSTAL METHODS[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(6): 667-672.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1212 KB)   摘要: 用临界钝化电流（CriticalPassivationCurrentDensity．CPCD）法和液晶法，研究了不锈钢上Ta2O5，ZrO2的高频溅射膜的缺陷率建立了CPCD法中与薄膜有关的电流密度If与膜厚d之间的关系式：If＝k（1－θ）d．利用液晶的动态散射模型（DynamicScatteringMode，DSM），建立了动态无损伤检测膜缺陷率的新方法，并证明了这两种方法的检测结果有良好的直线关系。 关键词 ： 临界钝化电流密度法,  动态散射模型,  液晶,  氧化物薄膜,  缺陷率     Abstract：The defects in Ta2O5 and ZrO2 films prepared by RF sputtering on SUS304stainless steel were studied by CPCD (critical passivation current density) and liquid crystalmethods. In CPCD method a relation between current density if and film thickness wasgiven: If= K(1-0)d. Using DSM (dynamic scattering mode) of liquid crystal, a new methodabout nondestructive testing of film defects was reported. The results of the two methodsshowed a good linear relation. Key words： CPCD method    DSM    liquid crystal    oxide film    defect 收稿日期: 1997-06-18      基金资助:国家自然科学基金!59471060 服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 印仁和 曹为民 李亚君 李卓棠 荣国斌 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I6/667 1印仁和,谷口成史,林安德.中国科学技术大学学报,1994:24:252 2 Natishan P M,Cafferty E M,Hubler G K.J Electro-chem Soc、1988;135:321 3杉本克久,林安德,相马才晃,原信义.气相铁钢表面高机能化.东京:日本铁钢协会1995:45 4Keen J M Electronics Lett, 1971; 7: 433? [1] 张炳森; 于晓明; 孙霞光; 李茂林; 张彩碚; 祁阳 . 高浓度臭氧在分子束外延法制备Bi系氧化物薄膜中的应用[J]. 金属学报, 2008, 44(6): 647-651 . [2] 齐慧滨;袁海顺;何业东;朱日彰. 微量钇合金化及Y_2O_3-Al_2O_3复合涂层对M38合金高温氧化的影响[J]. 金属学报, 1996, 32(4): 397-403. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed