金属学报  1997, Vol. 33 Issue (6): 650-654

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导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理

霍晓;任家烈;鹿安理

清华大学;北京;100084;清华大学;北京;100084;清华大学;北京;100084

INVESTIGATION OF THE MECHANISM RESULTING IN THE NONUNIFORM DEPOSITION OF DIAMOND FILM

HUO Xiao; REN Jialie; Lu Anli (Tsinghua Universitv; Beijing 100084)

霍晓;任家烈;鹿安理. 导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理[J]. 金属学报, 1997, 33(6): 650-654.
, , . INVESTIGATION OF THE MECHANISM RESULTING IN THE NONUNIFORM DEPOSITION OF DIAMOND FILM[J]. Acta Metall Sin, 1997, 33(6): 650-654.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(1060 KB)   摘要: 以MPCVD法合成金刚石薄膜的实验结果为基础，深入分析了微波等离子体性质对金刚石薄膜沉积过程的影响，提出了解释金刚石薄膜不均匀沉积现象的新机理，即由微波等离子体中电子浓度的不均匀分布引起反应气相中过饱和原子氢浓度的不均匀分布所致 关键词 ： 金刚石薄膜,  不均匀沉积,  机理     Abstract：Based on the experimental results of depositing diamond film by MPCVDmethod, the effect of the characteristics of microwave induced plasma on the process of diamond deposition is thoroughly analysed. A new mechanism causing nonuniform diamonddeposition had been put forward, which considers the main factor to be the nonuniform distribution of supersaturated atomic hydrogen resulted from the nonuniform distribution ofelectrons in microwave induced plasma. Key words： diamond film    nonuniform deposition    mechanism 收稿日期: 1997-06-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 霍晓 任家烈 鹿安理 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1997/V33/I6/650 1 Kobashi K, Nishimura, K, Kawate Y, Horiuchi T Phys,Rev B,1988; 38: 4067 2 Chow L,Horner A,Sakouri H,Roghani B,Sundaram S.J Maler Res,1992;7:1606 3霍晓,任家烈,鹿安理.航空材料学报,1994;14(3):42 4 Spitzer L.完全电离气体的物理学,左耀等译,北京:科学出版社, 1959: 39 5 Rau H,Picht F.J Phys D:Appl Phys, 1993;26: 1260 6甄汉生.等离子体加工技术,北京:清华大学出版社,1990:111 7 Rousseau A,Granier A,Gousset G,Leprince P.J Phys D,Appl Phys,1994;27: 1412 8 Karoulina E V,Lebedev Y A,J Phys.D Appl Phys,1992;25:401 9俞辉.中国科学院电子学研究所硕士学位论文,1987:68 10 霍晚.清华大学博士学位论文,1995:37,77& [1] 毕中南, 秦海龙, 刘沛, 史松宜, 谢锦丽, 张继. 高温合金锻件残余应力量化表征及控制技术研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(9): 1144-1158. [2] 陈礼清, 李兴, 赵阳, 王帅, 冯阳. 结构功能一体化高锰减振钢研究发展概况[J]. 金属学报, 2023, 59(8): 1015-1026. [3] 刘俊鹏, 陈浩, 张弛, 杨志刚, 张勇, 戴兰宏. 高熵合金的低温塑性变形机制及强韧化研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(6): 727-743. [4] 曹姝婷, 张少华, 张健. GH4061合金在高压富氧环境下的燃烧行为[J]. 金属学报, 2023, 59(4): 547-555. [5] 沈朝, 王志鹏, 胡波, 李德江, 曾小勤, 丁文江. 镁合金抗高温氧化机理研究进展[J]. 金属学报, 2023, 59(3): 371-386. [6] 彭子超, 刘培元, 王旭青, 罗学军, 刘健, 邹金文. 不同服役条件下FGH96合金的蠕变特征[J]. 金属学报, 2022, 58(5): 673-682. [7] 李亚敏, 张瑶瑶, 赵旺, 周生睿, 刘洪军. Cu对Inconel 718合金Nb偏析影响机理的第一性原理研究[J]. 金属学报, 2022, 58(2): 241-249. [8] 朱苗勇, 邓志银. 钢精炼过程非金属夹杂物演变与控制[J]. 金属学报, 2022, 58(1): 28-44. [9] 郭磊, 高远, 叶福兴, 张馨木. 航空发动机热障涂层的CMAS腐蚀行为与防护方法[J]. 金属学报, 2021, 57(9): 1184-1198. [10] 曹富荣, 丁鑫, 项超, 尚会会. Mg-4.4Li-2.5Zn-0.46Al-0.74Y合金高温变形流动应力、组织演变与本构分析[J]. 金属学报, 2021, 57(7): 860-870. [11] 朱雯婷, 崔君军, 陈振业, 冯阳, 赵阳, 陈礼清. 690 MPa级高强韧低碳微合金建筑结构钢设计及性能[J]. 金属学报, 2021, 57(3): 340-352. [12] 温斌, 田永君. 纳米孪晶金属和纳米孪晶共价材料的力学行为[J]. 金属学报, 2021, 57(11): 1380-1395. [13] 栾晓圣, 梁志强, 赵文祥, 石贵红, 李宏伟, 刘心藜, 祝国荣, 王西彬. 45CrNiMoVA钢脉冲磁处理的强化机理[J]. 金属学报, 2021, 57(10): 1272-1280. [14] 余磊, 曹睿. 镍基合金焊接裂纹研究现状[J]. 金属学报, 2021, 57(1): 16-28. [15] 丁文, 王小京, 刘宁, 秦亮. CoCrFeMnNi高熵合金作为中间层的Cu/304不锈钢扩散连接研究[J]. 金属学报, 2020, 56(8): 1084-1090. Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed