金属学报  1992, Vol. 28 Issue (9): 91-94

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精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度

刘长清;李美栓;金柱京;吴维(山文)

中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室;助理研究员;沈阳(110015);中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室;中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室;中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室

TENSILE AND ADHESIVE STRENGTHS OF FINE TiN FILM ON Ti SUBSTRATE

LIU Changqing; LI Meishuan; JIN Zhujing; WU Weitao (Corrosion Science Lab.; Institute of Corrosion and Protection of Metals; Academia Sinica. Shenyang 110015)

刘长清;李美栓;金柱京;吴维(山文). 精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度[J]. 金属学报, 1992, 28(9): 91-94.
, , , . TENSILE AND ADHESIVE STRENGTHS OF FINE TiN FILM ON Ti SUBSTRATE[J]. Acta Metall Sin, 1992, 28(9): 91-94.

摘要 参考文献 相关文章 Metrics 全文: PDF(548 KB)   摘要: 采用声发射监测悬臂梁弯曲实验法测量并计算出HCD离子镀法制备的精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度,及其与钛基材界面抗剪切强度(结合强度)值分别是:603MPa,242MPa。 关键词 ： TiN薄膜,  抗拉强度,  结合强度     Abstract：The cantilever bending test, particularly monitored by an acoustic emission technique, was adopted to measure the tensile and interfacial adhesive strengths of the HCD ion-plated fine TiN film on pure Ti substrate. The behaviours of film damaging were found due to: for TiN facing upward, an exceeded internal tensile stress over its tensile strength, and for TiN facing downward, an exceeded shearing stress along film/substrate interface over its adhesive strength. The measured tensile and adhesive strengths are 603 and 242 MPa respectively. Key words： tensile strength    adhesive strength    TiN film 收稿日期: 1992-09-18      服务 把本文推荐给朋友 加入引用管理器 E-mail Alert RSS 作者相关文章 刘长清 李美栓 金柱京 吴维(山文) 44.8K 链接本文: https://www.ams.org.cn/CN/      或      https://www.ams.org.cn/CN/Y1992/V28/I9/91 1 Wu W, Liu C, Jin Z, Yu L, Shi C, Mater Sci Eng, 1991; A131: 203． 2 Randhawa H. J Vac Sci Technol, 1986; A4: 2755． 3 Coghill M E, St John D H, Surf Coat Technol, 1990; 41: 135． 4 Perry A J, Thin Solid Films, 1981; 78: 77． 5 刘长清,金柱京,吴维(屮又),戴少侠,李美栓,师昌绪,金属学报,1990;26:B27` [1] 张林, 郭晓, 高建文, 邓安元, 王恩刚. 电磁搅拌对TiB2颗粒增强钢组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2020, 56(9): 1239-1246. [2] 秦勤, 李程, 何流, 叶陈龙, 臧勇. 基于非对称双悬臂梁模型优化的双金属板界面结合强度研究[J]. 金属学报, 2020, 56(12): 1617-1628. [3] 冯汉臣,闵学刚,魏大圣,周立初,崔世云,方峰. 低温回火对超大形变冷拔珠光体钢丝显微组织和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2019, 55(5): 585-592. [4] 时惠英, 杨超, 蒋百灵, 黄蓓, 王迪. 双脉冲磁控溅射峰值靶电流密度对TiN薄膜结构与力学性能的影响[J]. 金属学报, 2018, 54(6): 927-934. [5] 季培蓓, 周立初, 周雪峰, 方峰, 蒋建清. 冷拉拔珠光体钢丝的力学性能各向异性研究[J]. 金属学报, 2018, 54(4): 494-500. [6] 刘奋军, 傅莉, 陈海燕. 铝合金薄板高转速搅拌摩擦焊接头组织与力学性能[J]. 金属学报, 2017, 53(12): 1651-1658. [7] 柏琳娜,刘福平,王邃,江峰,孙军,陈良斌,王丰元. Fe-C-Cu粉末锻造汽车发动机连杆的组织与力学性能*[J]. 金属学报, 2016, 52(1): 41-50. [8] 姬书得,温泉,马琳,李继忠,张利. TC4钛合金搅拌摩擦焊厚度方向的显微组织*[J]. 金属学报, 2015, 51(11): 1391-1399. [9] 李继展，付莹，接金川，赵佳蕾，Joonpyo Park，Jongho Kim，李廷举. 连续铸造法制备3003/4004铝合金复层圆铸坯[J]. 金属学报, 2013, 49(3): 297-302. [10] 时婧 裴志亮 宫骏 孙超 MUDERS C M 姜辛. Si含量对电弧离子镀Ti-Al-Si-N薄膜组织结构和力学性能的影响[J]. 金属学报, 2012, 48(11): 1349-1356. [11] 李伟洲 王启民 宫骏 孙超 姜辛. 一步法制备含扩散阻挡层的多层体系及其界面结合强度[J]. 金属学报, 2010, 46(5): 561-568. [12] 向红亮 黄伟林 刘东 何福善. N含量对29Cr铸造超级双相不锈钢组织及性能的影响[J]. 金属学报, 2010, 46(3): 304-310. [13] 徐娜 张甲 侯万良 全明秀 李荣德 常新春. 热处理对高温固体自润滑涂层组织结构及结合强度的影响[J]. 金属学报, 2009, 45(8): 943-948. [14] 姚勇; 李伟洲; 王启民; 宫骏; 孙超; 李家宝 . Cr-O-N 扩散阻挡层对 NiCrAlY 涂层结合性能的影响[J]. 金属学报, 2008, 44(7): 876-882 . [15] 李铸国; 华学明; 吴毅雄; 三宅正司 . 低能离子束辅照对溅射镀TiN膜生长的影响[J]. 金属学报, 2005, 41(10): 1087-1090 . Viewed Full text Abstract Cited   Shared      Discussed